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水(銹)垢防制技術應用-實例說明

Info 》

* 濺鍍機銹垢污染的解決

此例為 ULVAC Sputter 經年的水(銹)垢污染如下：
1. 鑄鋼材質部分，銹蝕十分嚴重 (圖1)。
2. 流量計玻璃 (圖2) 因表面滿佈銹垢，而看不清楚實際刻度。
3. 對設備操作及產品品質產生危害。

Note 》

*安裝後一個月的情形：

1. 濺渡機內部銹污染部分，明顯改善許多。

2. 流量計較改善不明顯，但是已經不再惡化。